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一体式全自动曝光机

产品特点
一、名称:一体式全自动曝光机 二、型号:BG300 三、设备优点: 1.接触式/非接触式曝光双模式 2. UV LED光源,节能、寿命长、使用成本低,闭环式循环水冷却系统 3. Cycle time 11秒/张(机械时间+真空时间) 4. 省人设计:集成全自动收放板机, 无需套Pin, 拒曝自动暂存 5. 多重自动清洁系统 6. 8CCD自动对位系统

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产品参数

四、设备参数及规格:

项次

序号

项目

规格及技术参数

备注

1

外型尺寸( L*W*H mm)

2600*2050*2000 mm  

2

适用制程

FPC

3

光源类型

UV  LED 平行光

4

曝光方式

双台面,双面同时独立曝光

5

光源排布方式

面阵

6

曝光能量控制

光强任意可调

7

曝光能量检测

线性多点侦测

选配

8

感光剂

干膜

9

菲林固定方式

真空吸附

10

基材尺寸

250mm*500mm(最大),

250mm*200mm(最小)

11

菲林尺寸(mm

550  X   280

12

整机重量(KG)

3500kg

13

电源要求

三相五线制 AC380V,50Hz,功率16KW

14

气源要求(MPa)

0.5MPa  流量50L/Min

15

使用环境

温度20-24摄氏度;湿度55%+/-15%RH

16

保护功能

LED异常多点报警

17

工作周期

11S(不包含曝光时间/真空时间)

18

光源解析能力

L/S  0.025mm /0.025mm

19

对位精度

±0.01mm

20

图像处理方式

Mark点识别

21

Mark点大小

菲林3个Ø1mm   防呆1个Ø0.8mm

基材孔3个Ø2.5mm  防呆1个Ø2.3mm

1

电气配置

PLC+工控机

2

曝光控制系统

2

3

自动对位系统

2

4

清洁系统

多套

5

能量反馈系统

2

6

静电离子处理器

多套

7

多效过滤系统

1

8

自动水冷系统

1

9

多轴运动系统

1

10

CCD影像系统

多套

11

面阵光源

2

12

对位系统软件

1


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